超纯水设备的工艺流程为：

1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线**器→抛光混床→精密过滤器→用水对象 (≥18MΩ.CM)(传统工艺)。

2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线**器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(###新工艺)。

3、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线**器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)(###新工艺)。

4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线**器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)(###新工艺)。

5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线**器→精密过滤器→用水对象 (≥15MΩ.CM)(传统工艺)。